薄膜压力传感器，也称柔性薄膜压力传感器，或柔性压力传感器。
薄膜压力传感器的组成
薄膜压力传感器通常由薄膜、电极和支撑结构组成。
薄膜是传感器的敏感部件，它的材料、工艺和厚度直接决定了传感器的灵敏度和测量范围。电极用于接触薄膜，通过电极就可以对薄膜的电阻进行测量。支撑结构用于支撑薄膜，防止其受到过大的变形而损坏。
薄膜压力传感器的工作原理
薄膜压力传感器的薄膜材料具有压电特性或应变感应特性。当受到外部压力作用时，薄膜会发生微小的形变或应变，这会导致膜上的电阻值发生变化。通过测量电路，将这种电阻变化转换成电压信号，并经过放大和滤波等处理，就可以确定所施加的压力大小。
具体来说，薄膜电阻器的压力电阻关系可以表示为以下公式：
R = R0(1+kP)
其中，R为传感器输出的电阻值，R0为无压力时的电阻值，k为传感器的压力灵敏度系数，P为背面压力大小。
薄膜压力传感器的应用电路
如上图，薄膜压力传感器可以采用电阻分压的原理进行测量。无压力时，传感器阻值在10MΩ以上，等效于断路；有压力时，根据电阻分压获得电压值，计算出压力。
薄膜压力传感器的优点
✓ 结构简单，可靠性高
薄膜压力传感器是仅由少量的轻薄材料组成无源传感器，结构紧凑，安装方便，不易损坏，所以系统的可靠性高。
✓ 灵敏度高
薄膜压力传感器对于压力的轻微变化也非常敏感，可以实现精确的压力测量。
✓ 响应速度快
传感器的薄膜具有快速的响应速度，可以实时监测压力变化。
✓ 测量范围宽
不同型号的薄膜压力传感器的测量范围不同，还可以根据实际要求定制，压力的测量范围可以从几帕斯卡到几十兆帕斯卡。
薄膜压力传感器的缺点
✗ 受温度变化影响
传感器的薄膜材料对温度的变化非常敏感，因此在应用过程中需要对温度进行补偿，以确保测量的准确性。
✗ 机械强度低
传感器的薄膜材料决定了其机械强度相对脆弱，容易受到机械应力和物理损坏，所以在机械结构的设计时需要注意保护。
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